東芝推出MEMS氫氣傳感器以推動氫能源社會的發展

東芝最近開發出了一種MEMS氫氣傳感器，其功耗隻有傳統傳感器的1%
，而且不會損失檢測速度。它基於東芝開發的微機電係統(MEMS)結(jie)構(gou)，采(cai)用(yong)鈀(ba)基(ji)金(jin)屬(shu)玻(bo)璃(li)來(lai)實(shi)現(xian)快(kuai)速(su)檢(jian)測(ce)和(he)低(di)功(gong)耗(hao)。克(ke)服(fu)傳(chuan)統(tong)傳(chuan)感(gan)器(qi)功(gong)耗(hao)與(yu)靈(ling)敏(min)度(du)隻(zhi)能(neng)取(qu)其(qi)一(yi)的(de)特(te)點(dian)。這(zhe)種(zhong)傳(chuan)感(gan)器(qi)可(ke)以(yi)在(zai)半(ban)導(dao)體(ti)生(sheng)產(chan)線(xian)上(shang)進(jin)行(xing)製(zhi)造(zao)
，從(cong)而(er)實(shi)現(xian)低(di)成(cheng)本(ben)的(de)大(da)規(gui)模(mo)生(sheng)產(chan)。該(gai)技(ji)術(shu)的(de)細(xi)節(jie)將(jiang)於(yu)6月20日在台灣舉行的2017年國際會議上公布。

開發背景

在應對氣候變化的措施中，氫能源技術的發展正越來越受到重視，實現低碳氫能源社會將會是未來幾十年裏國際社會的共同追求。然(ran)而(er)
，氫(qing)氣(qi)是(shi)一(yi)種(zhong)非(fei)常(chang)易(yi)燃(ran)易(yi)爆(bao)的(de)氣(qi)體(ti)，因(yin)此(ci)，檢(jian)測(ce)氫(qing)氣(qi)泄(xie)漏(lou)是(shi)氫(qing)能(neng)源(yuan)發(fa)展(zhan)過(guo)程(cheng)中(zhong)一(yi)項(xiang)必(bi)不(bu)可(ke)少(shao)的(de)環(huan)節(jie)。采(cai)用(yong)電(dian)池(chi)驅(qu)動(dong)的(de)氫(qing)氣(qi)傳(chuan)感(gan)器(qi)，必(bi)須(xu)具(ju)備(bei)：1、快速響應任何泄漏；2、持續穩定的工作很長時間；3、jixiaodedianliangxiaohao。raner，chuantongdeqingqichuanganqi，lirubandaotiqingqichuanganqihecuihuaranshaoshiqingqichuanganqixuyaoduiqijianjinxingjiare


，shiqidianlixiaohaodexiangduijiaogao，gonghaofanweizaijishihaowadaojiwazhijian。jibianshizuixianjindeFET型氫氣傳感器
，也必須間歇性加熱以加快檢測速度，達到功耗與靈敏度的折衷平衡。

技術特性

通過將其在半導體技術方麵的know-how應用於氫氣傳感器，東芝開發出了一種原始的MEMS結構
，采用鈀基金屬玻璃實現了快速檢測和低功耗。傳感器可以在100uw的功耗水平上檢測到氫，小於傳統設備的1%，因為它不需要持續的加熱，並且采用電容式的MEMS結構。

鈀是一種著名的氫儲存材料，但鈀與氫結合需要較長的時間，一般采用加熱來加快吸收。采用鈀基金屬玻璃(注5)合金代替鈀
，可以降低氫鍵能

，使探測時間達到幾秒
，類似於常規快速探測氫傳感器的時間。此傳感器可以在半導體生產線上進行製造
，一個晶圓能製造出數千上萬隻傳感器，因此成本低的生產是可能的。

轉載自http://www.memsview.com/m/2538/