東芝推出MEMS氫氣傳感器以推動氫能源社會的發展

東芝最近開發出了一種MEMS氫氣傳感器，其功耗隻有傳統傳感器的1%，而且不會損失檢測速度。它基於東芝開發的微機電係統(MEMS)jiegou，caiyongbajijinshubolilaishixiankuaisujiancehedigonghao。kefuchuantongchuanganqigonghaoyulingminduzhinengquqiyidetedian。zhezhongchuanganqikeyizaibandaotishengchanxianshangjinxingzhizao，congershixiandichengbendedaguimoshengchan。gaijishudexijiejiangyu6月20日在台灣舉行的2017年國際會議上公布。

開發背景

在應對氣候變化的措施中，氫能源技術的發展正越來越受到重視，實現低碳氫能源社會將會是未來幾十年裏國際社會的共同追求。然ran而er，氫qing氣qi是shi一yi種zhong非fei常chang易yi燃ran易yi爆bao的de氣qi體ti，因yin此ci，檢jian測ce氫qing氣qi泄xie漏lou是shi氫qing能neng源yuan發fa展zhan過guo程cheng中zhong一yi項xiang必bi不bu可ke少shao的de環huan節jie。采cai用yong電dian池chi驅qu動dong的de氫qing氣qi傳chuan感gan器qi，必bi須xu具ju備bei：1、快速響應任何泄漏
；2

、持續穩定的工作很長時間；3、極ji小xiao的de電dian量liang消xiao耗hao。然ran而er

，傳chuan統tong的de氫qing氣qi傳chuan感gan器qi
，例li如ru半ban導dao體ti氫qing氣qi傳chuan感gan器qi和he催cui化hua燃ran燒shao式shi氫qing氣qi傳chuan感gan器qi需xu要yao對dui器qi件jian進jin行xing加jia熱re
，使shi其qi電dian力li消xiao耗hao的de相xiang對dui較jiao高gao，功gong耗hao範fan圍wei在zai幾ji十shi毫hao瓦wa到dao幾ji瓦wa之zhi間jian。即ji便bian是shi最zui先xian進jin的deFET型氫氣傳感器，也必須間歇性加熱以加快檢測速度，達到功耗與靈敏度的折衷平衡。

技術特性

通過將其在半導體技術方麵的know-how應用於氫氣傳感器，東芝開發出了一種原始的MEMS結構
，采用鈀基金屬玻璃實現了快速檢測和低功耗。傳感器可以在100uw的功耗水平上檢測到氫，小於傳統設備的1%，因為它不需要持續的加熱，並且采用電容式的MEMS結構。

鈀是一種著名的氫儲存材料，但鈀與氫結合需要較長的時間
，一般采用加熱來加快吸收。采用鈀基金屬玻璃(注5)合金代替鈀，可以降低氫鍵能，使探測時間達到幾秒，類似於常規快速探測氫傳感器的時間。此傳感器可以在半導體生產線上進行製造，一個晶圓能製造出數千上萬隻傳感器，因此成本低的生產是可能的。

轉載自http://www.memsview.com/m/2538/