一種高性能、高性價比氫氣傳感器

據國外媒體報道：韓國科學技術院（KAIST）的研究小組研發出一種基於聚苯乙烯納米球光刻和半導體微製造工藝相結合的新型高性能低成本的氫傳感器。

機械工程係Inkyu Park教授和材料科學與工程係Yeon Sik Jung教(jiao)授(shou)領(ling)導(dao)的(de)研(yan)究(jiu)小(xiao)組(zu)合(he)作(zuo)製(zhi)作(zuo)了(le)一(yi)種(zhong)納(na)米(mi)結(jie)構(gou)的(de)高(gao)性(xing)能(neng)氫(qing)氣(qi)傳(chuan)感(gan)器(qi)

，傳(chuan)感(gan)器(qi)基(ji)於(yu)鈀(ba)裝(zhuang)飾(shi)的(de)矽(gui)納(na)米(mi)網(wang)結(jie)構(gou)，該(gai)結(jie)構(gou)使(shi)用(yong)聚(ju)苯(ben)乙(yi)烯(xi)納(na)米(mi)球(qiu)自(zi)組(zu)裝(zhuang)方(fang)法(fa)。他(ta)們(men)的(de)研(yan)究(jiu)在(zai)2018年3月8日作為《Small》雜誌的封麵文章發表（發行方：Wiley-VCH）。

納米球光刻方法采用的是納米球單層的自組裝
，該方法對於製備均勻有序
、最小達到亞10namichicundenamijiegoushiyizhongyouxiaodetidaixuanze。yanjiuxiaozubiaoshi
，guideweixiaochicunzengqianglebayuansudemenkongxiaoying
，congerdadatigaolechuanganqidelingmindu。

基於矽納米線的器件已作為高效組件被廣泛應用於檢測氣體和其他化學生物組分的高性能傳感器中。由於納米線具有較高的表麵積/體積比
，它對與周圍環境的反應更加敏銳。

與沒有納米結構的矽薄膜傳感器相比
，研發的新型氣體傳感器顯示出更高的氫氣靈敏度。此外

，對矽納米網結構進行耐氧化蝕刻劑（BOE）處理，通過將懸浮納米網的表麵粗糙化，進一步改善了傳感器性能。該傳感器裝置顯示出極快的氫氣反應速度（響應時間<5秒）以及對氫氣等氣體的高度選擇性（>10倍），且傳輸性能穩定
，在幹燥和高濕度環境中均顯示出良好的感應重複性。